紫外線露光装置

露光装置

露光装置

紫外線領域の主波長を波長選択ミラーで選択照射が可能で、且つミラーの交換が行える構造です。照射エリアは照射均一性を持つ紫外線露光光源です。
ランプ交換時には、ランプを点灯せずに光軸調整が正確かつ安全に行えます。 照射面積・照射強度はランプ容量及び光学系により、選定します。

照度分布 ±3%以内、平行度±3%以内
照射面積 ご相談ください
照射強度 ご相談ください
オプション
波長選択フィルター 波長選択ミラー併用により、よりシャープ且つ2次光を極力低減した照射が出来ます。
365nm, 405nm, 436nm
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  • 水平照射型紫外線露光装置
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