[YAMASHITA DENSO]山下電装株式会社

表面欠陥検査装置

表面欠陥検査装置(通常タイプ)

表面欠陥検査装置(通常タイプ)

古くから伝わる魔鏡の原理を応用して、超高感度にて鏡面平面基板の表面状態が即座に検査できる装置で、世界中のシリコンウエハーメーカーにて使用されています。検査は、非接触・非破壊で行うことができ、光学系はメンテナンスフリーです。 オプションにて、表面欠陥の自動判定画像処理・自動搬送機構・イメージ記憶・イメージプリント等の機能を追加することが可能です。

製品の特長

  • 1総ての表面状態を瞬時に表現します。
  • 2光学系はクラス1に対応しています。
  • 3光学系はメンテナンスフリーです。
  • 4検査内容により、検出感度変更が可能です。
検査サイズ φ100mmからφ300mmまで各機種
検査内容 平坦度、ディンプル、マウンド、ソーマーク、オレンジピール等
検査倍率 等倍・3倍モード切替(標準装備)
検出感度 連続検出感度可変
使用光源 550nm (定照度安定化光源)
検出感度 連続検出感度可変
カメラ 高解像度CCDカメラ
ステージ 手動ステージ(標準仕様)
用途
鏡面ウエハーの表面検査
スリップラインの検査
ガラス基板の検査
その他の鏡面基板の検査
オプション
モータ駆動検査ステージ
欠陥自動判定画像処理装置
イメージプリンター
搬送機構
  • ※ 常時、弊社にてデモンストレーションが可能です。
  • ※ サンプルをご送付頂き、検査結果をイメージコピーにてご返送することも可能です。
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