表面欠陥検査装置（通常タイプ）

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表面欠陥検査装置

表面欠陥検査装置（通常タイプ）

古くから伝わる魔鏡の原理を応用して、超高感度にて鏡面平面基板の表面状態が即座に検査できる装置で、世界中のシリコンウエハーメーカーにて使用されています。検査は、非接触・非破壊で行うことができ、光学系はメンテナンスフリーです。
オプションにて、表面欠陥の自動判定画像処理・自動搬送機構・イメージ記憶・イメージプリント等の機能を追加することが可能です。

総ての表面状態を瞬時に表現します。
光学系はクラス１に対応しています。
光学系はメンテナンスフリーです。
検査内容により、検出感度変更が可能です。

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検査サイズ	φ100mmからφ300mmまで各機種
検査内容	平坦度、ディンプル、マウンド、ソーマーク、オレンジピール等
検査倍率	等倍・3倍モード切替（標準装備）
検出感度	連続検出感度可変
使用光源	550nm　（定照度安定化光源）
検出感度	連続検出感度可変
カメラ	高解像度CCDカメラ
ステージ	手動ステージ（標準仕様）

用途

鏡面ウエハーの表面検査

スリップラインの検査

ガラス基板の検査

その他の鏡面基板の検査

オプション

モータ駆動検査ステージ

欠陥自動判定画像処理装置

イメージプリンター

搬送機構

※ 常時、弊社にてデモンストレーションが可能です。
※ サンプルをご送付頂き、検査結果をイメージコピーにてご返送することも可能です。