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表面欠陥検査装置
高倍率表面欠陥検査装置（拡大魔鏡）
YISシリーズの高倍率検査装置で、視野 10mm をモニターに映し出します。
特にエピ処理後に発生するスリップラインの検査で広く使用されています。又、ハードディスク、光学研磨部品の表面検査にも有効です。
検出できる感度は、ノマルスキー顕微鏡の倍率50倍に匹敵します。
総ての表面状態を瞬時に表現します。
光学系はクラス１に対応しています。
光学系はメンテナンスフリーです。
検査内容により、検出感度変更が可能です。
| 検査サイズ | φ100mmからφ300mmまで各機種 |
| 検査内容 | 平坦度、ディンプル、マウンド、ソーマーク、オレンジピール等 |
| 検査倍率 | 等倍・3倍モード切替（標準装備） |
| 検出感度 | 連続検出感度可変 |
| 使用光源 | 550nm （定照度安定化光源） |
| 検出感度 | 連続検出感度可変 |
| カメラ | 高解像度CCDカメラ |
| ステージ | 手動ステージ（標準仕様） |
用途
| 鏡面ウエハの表面検査 |
| スリップラインの検査 |
| ガラス基板の検査 |
| その他の鏡面基板の検査 |
オプション
| モータ駆動検査ステージ |
| 欠陥自動判定画像処理装置 |
| イメージプリンター |
| 搬送機構 |
- ※ 常時、弊社にてデモンストレーションが可能です。
- ※ サンプルをご送付頂き、検査結果をイメージコピーにてご返送することも可能です。