各種部品

波長選択楕円ミラー

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使用する波長領域(DUV、UV、全波長)により、楕円ミラーを選択します。波長選択平面ミラー、フィルターも併せて使用することにより、ナローバンドの照射スペクトルが得られます。
(254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm)

波長選択平面ミラー

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使用する波長領域(DUV、UV、全波長)により、平面ミラーを選択します。波長選択楕円ミラー、フィルターも併せて使用することにより、ナローバンドの照射スペクトルが得られます。
(254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm)

波長選択フィルター

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波長選択楕円ミラー、平面ミラーを併せて使用することにより、ナローバンドの照射スペクトルが得られます。 (254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm)
特に耐熱性に優れ、熱による波長シフトが起こりません。

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