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各種部品
波長選択楕円ミラー
使用する波長領域（DUV、UV、全波長）により、楕円ミラーを選択します。波長選択平面ミラー、フィルターも併せて使用することにより、ナローバンドの照射スペクトルが得られます。
（254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm）
波長選択平面ミラー
使用する波長領域（DUV、UV、全波長）により、平面ミラーを選択します。波長選択楕円ミラー、フィルターも併せて使用することにより、ナローバンドの照射スペクトルが得られます。
（254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm）
波長選択フィルター
波長選択楕円ミラー、平面ミラーを併せて使用することにより、ナローバンドの照射スペクトルが得られます。
（254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm）
特に耐熱性に優れ、熱による波長シフトが起こりません。