エピタキシャルウエハー（エピ処理後）のスリップライン検査
熱歪み等によってウエハー表面・内部に発生する、顕微鏡レベルの微細な結晶欠陥（スリップライン）の非破壊・迅速全数スクリーニング。
高倍率表面欠陥検査装置（拡大魔鏡）
High-magnification surface defect inspection device
ノマルスキー顕微鏡50倍に匹敵する感度。視野10mmの局所・超微細欠陥を瞬時に可視化。
山下電装の「高倍率表面欠陥検査装置（拡大魔鏡）」は、独自の魔鏡の原理をさらに進化させ、微細領域の緻密なインスペクションを可能にしたYISシリーズのハイエンド高倍率検査システムです。
視野10mmの世界を鮮明にモニターへ映し出し、その検出感度は「ノマルスキー顕微鏡の倍率50倍」に匹敵する圧倒的な精度を誇ります。特に、高度な制御が求められるエピタキシャル成長（エピ処理）後に発生する微細なスリップラインの検出で広く使用されているほか、ハードディスク基板や超精密光学研磨部品のクオリティ管理において世界中の現場から高い信頼を得ています。
高倍率表面欠陥検査装置（拡大魔鏡）の主な特長・導入メリット
ノマルスキー顕微鏡50倍に匹敵する驚異の「超高感度・局所表現」
スキャンや焦点を合わせる複雑な操作を必要とせず、視野10mm範囲内の極微細なうねりや欠陥を瞬時に全面可視化します。顕微鏡での目視検査に代わる圧倒的なスピードと、微細な構造変化を逃さない超高感度な検査環境を両立します。
「等倍・3倍モード切替」を標準装備し、シームレスな観察が可能
基板の全体像を把握する等倍モードと、ターゲットエリアを詳細にインスペクションする3倍モードの切り替え機能を標準で搭載。ワークの表面状態に合わせて最適な倍率で、効率的かつ確実な欠陥抽出が行えます。
エピ処理後の結晶欠陥やハードディスク、光学研磨部品に最適化
エピタキシャルウエハーのスリップライン（結晶欠陥）検査をはじめ、ハードディスクのメディア基板、レンズなどの精密光学研磨部品といった、わずかな表面荒れが致命傷となる最先端デバイスの品質評価に最適な光学系を構築しています。
メンテナンスフリーのクラス1構造と、多彩な自動化オプション
心臓部である550nm定照度安定化光源と光学系は「クラス1」に対応し、長期にわたりメンテナンスフリー。手動ステージの標準仕様から、オプションで「モータ駆動ステージ」「欠陥自動判定画像処理装置」「自動搬送機構」を統合したインライン自動検査への拡張も可能です。
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カタログ請求型式・仕様スペック
お客様が検査される基板の種類や、検出したい微細欠陥のサイズ（閾値）、量産ラインのタクトタイムに合わせて、最適なシステム構成でのオーダーメイド（特注開発）を基本としております。ご希望の仕様をお気軽にご相談ください。
主な用途・対応アプリケーション
ハードディスク（HDD）用磁気ディスク基板の超精密表面評価
微小な突起やスクラッチ、ディンプルがヘッドの浮上特性に悪影響を及ぼすハードディスク鏡面基板の高度な外観品位管理。
超精密光学研磨部品・ナノレベル鏡面基板のうねり・肌荒れ検出
高精度ミラーや光学レンズ基板などの精密研磨工程における、オレンジピール（肌荒れ）やナノスケールの微細凹凸の可視化。
お問い合わせ・カタログ請求・カスタマイズのご案内
Catalogs / Product customization consultations
山下電装では、お客様に高倍率モデルの圧倒的な検出感度を実感していただけるよう、実機を用いたデモンストレーションや、無償でのサンプル検査（御社ワークのお預かり検査）を常時実施しております。
「自社のエピウエハーや光学研磨基板の微細なスリップラインが、ノマルスキー50倍に匹敵する感度でどのように画面に映るか、実際のイメージコピー（検査結果）を確認したい」「視野10mm以外の倍率変更や、自動画像判定を組み込んだ特注仕様の費用感を知りたい」など、どのようなことでもお気軽にご相談ください。サンプルのご送付方法やデモ日程の調整、製品カタログのご請求等、専門スタッフが迅速に対応いたします。
