Surface defect inspection device MAKYO series
表面欠陥検査装置「魔鏡シリーズ」
シリコンや各種化合物ウエハー、精密ガラス基板、特殊鏡面金属などの表面状態を高感度・高速に検査する標準モデルです。φ100mm〜φ300mm（4〜12インチ）のワークサイズに幅広く対応。ステージに置くだけで全面の微細なうねりや潜傷を瞬時に捉え、プロセス条件の最適化や出荷・受入検査の効率化に貢献します。
表面欠陥検査装置製品一覧
Surface defect inspection device
SURFACE
DEFECT
INSPECTION
DEVICE
山下電装の「表面欠陥検査装置（魔鏡シリーズ）」は、古くから伝わる魔鏡の原理に最先端の光学技術を融合させた、独自の超高感度インスペクションシステムです。
レーザー走査などのスキャンを行うことなく、ウエハーやガラス基板などの鏡面平面ワークをステージに置くだけで、全面の微細な凹凸、ディンプル、ソーマーク、潜在的なナローレベルの歪みを非接触・非破壊で瞬時に可視化。研究開発における材料評価から、工場の量産インラインでのインライン・自動判定まで、高度な品質管理を圧倒的なハイスピードで実現します。
山下電装が選ばれる3つの強み
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山下電装では、お客様の研究テーマや工場の量産インライン構造（搬送高さ・ステージ仕様・タクトタイム）に合わせた「完全オーダーメイド（特注開発）」を最も得意としております。
「自社のクリーンルームや自動搬送ラインに組み込めるインライン型の魔鏡システムを設計してほしい」「自社の実際の鏡面ワークでどの程度欠陥が可視化できるか、無償のサンプル検査・デモ照射を試したい」など、どのようなことでもお気軽にご相談ください。
