各式零件
波长选择椭圆反射镜
依据想使用的波段(DUV、UV、全波段)来选择椭圆反射镜。同时使用波段反射镜与滤光片可以得到窄带分布的光谱。
(254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm)
波长选择平面反射镜
依据想使用的波段(DUV、UV、全波段)来选择平面反射镜。同时使用波段反射镜与滤光片可以得到窄带分布的光谱。 (254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm)
滤光片
与波段反射镜同时使用可以得到窄带分布的光谱。
(254nm, 313nm, 365nm, 405nm, 436nm)
耐热性特别优秀,不会因高温而引起波长偏移。