表面缺陷检测设备

高倍率表面缺陷检测设备(放大魔镜)

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YIS 系列的高倍率检测设备可在萤幕上呈现一个10mm的视场。
特别广泛应用于磊晶处理后的滑线检查。同时也适用于硬碟或光学抛光元件。
检测灵敏度约相当于50倍的微分干涉像差显微镜。

Product features

  • 1即时显示所有表面状态。
  • 2光学系统对应等级1。
  • 3光学系统无须维护。
  • 4根据检测内容,可修正检测灵敏度。
检测尺寸 从φ100mm至φ300mm
检测内容 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
检测倍率 1x / 3x 模式可切换(标准设备)
检测灵敏度 检测灵敏度可连续调整
使用光源 550nm (固定照度之稳定光源)
镜头 高解析度CCD镜头
平台 手动平台(标准设备)
用途
镜面晶圆的表面检测
滑线检测
玻璃基板检测
其他镜面基板检测
选配
电动马达检测平移台
自动判定缺陷影像处理装置
影像列印机
搬运装置
  • ※ 可以随时在敝公司内展示。
  • ※ 可将样品寄送过来,之后我们再将影像结果回寄。
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