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表面缺陷检测设备
表面缺陷检测设备（一般）
应用流传已久的魔镜(透光镜)原理，达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受世界各地的矽晶圆厂所用。
非接触、非破坏性的检查，以及免维护的光学系统根据选配，可追加表面缺陷自动判定影像处理软体、自动化搬运装置、影像储存、影像列印等功能。
非接触、非破坏性的检查，以及免维护的光学系统根据选配，可追加表面缺陷自动判定影像处理软体、自动化搬运装置、影像储存、影像列印等功能。
即时显示所有表面状态。
光学系统对应等级１
光学系统无须维护。
根据检测内容，可修正检测灵敏度。
| 检测尺寸 | 从φ100mm至φ300mm |
| 检测内容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 检测倍率 | 1x / 3x 模式可切换（标准设备） |
| 检测灵敏度 | 检测灵敏度可连续调整 |
| 使用光源 | 550nm （固定照度之稳定光源） |
| 镜头 | 高解析度CCD镜头 |
| 平台 | 手动平台（标准设备） |
用途
| 镜面晶圆的表面检测 |
| 滑线检测 |
| 玻璃基板检测 |
| 其他镜面基板检测 |
选配
| 电动马达检测平移台 |
| 自动判定缺陷影像处理装置 |
| 影像列印机 |
| 搬运装置 |
- ※ 可以随时在敝公司内展示。
- ※ 可将样品寄送过来，之后我们再将影像结果回寄。