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UV exposure apparatus
Exposure apparatus
紫外線領域の主波長を波長選択ミラーで選択照射が可能で、且つミラーの交換が行える構造です。照射エリアは照射均一性を持つ紫外線露光光源です。
ランプ交換時には、ランプを点灯せずに光軸調整が正確かつ安全に行えます。 照射面積・照射強度はランプ容量及び光学系により、選定します。
| 照度分布 | ±3％以内、平行度±3％以内 |
| 照射面積 | ご相談ください |
| 照射強度 | ご相談ください |
オプション
| 波長選択フィルター | 波長選択ミラー併用により、よりシャープ且つ２次光を極力低減した照射が出来ます。 365nm, 405nm, 436nm |
- 水平照射型紫外線露光装置